Pendahuluan: Dalam beberapa tahun terakhir, dengan pesatnya perkembangan kendaraan energi baru dan kecerdasan buatan, permintaan akan semikonduktor terus meningkat. Perkembangan pesat teknologi cerdas telah mempercepat transisi ukuran semikonduktor dari tingkat mikroelektronik ke tingkat atom. Semikonduktor generasi ketiga mengantarkan era baru pengembangan berkualitas tinggi! Pada saat yang sama, proses manufakturnya juga semakin kompleks. Produk apa dari Hikelok yang dapat membantu pengembangan semikonduktor? Mari kita pelajari lebih lanjut bersama!
Teknologi baru seperti kecerdasan buatan dan big data merupakan pendorong utama pembangunan, yang mengarah pada kebutuhan untuk mengemas kinerja yang lebih besar ke dalam chip yang lebih kecil. Ini berarti bahwa proses manufaktur akan menjadi lebih kompleks, membutuhkan kemampuan respons yang lebih cepat dan keandalan komponen yang lebih tinggi untuk memastikan transportasi kimia presisi tinggi menjadi prioritas utama.
Karena ketelitian dan kompleksitas pembuatan chip semikonduktor, baik itu katup untuk kontrol gas yang presisi atau konektor pipa untuk mengalirkan gas elektronik, semuanya harus mematuhi standar industri ASTM dan SEMI yang relevan dan memiliki karakteristik berikut:
1. Bahan baku baja tahan karat harus dimurnikan menggunakan VAR atau VIM-VAR dengan kemurnian sangat tinggi untuk memastikan persyaratan kemurnian sangat tinggi dari sumbernya;
2. Permukaan bagian dalam yang bersentuhan dengan media perlu menjalani proses seperti pemolesan elektrokimia dan pasivasi untuk mencapai kebersihan ultra sekaligus meningkatkan ketahanan korosi produk;
3. Produk baja tahan karat dan plastik harus memenuhi standar industri ASTM dan SEMI yang relevan, seperti kontrol analisis kelembaban internal, kontrol analisis total karbon organik (TOC), dan kontrol komposisi polusi ion.
Produk seri kemurnian ultra tinggi HikelokMemenuhi persyaratan industri semikonduktor untuk komponen fluida dan mematuhi standar industri ASTM dan SEMI, termasuk pemilihan bahan baku, teknologi pemrosesan standar tinggi, dan pengujian perakitan di bengkel bebas debu tingkat 100. Jenis produk meliputi katup pengurang tekanan kemurnian ultra tinggi, katup diafragma kemurnian ultra tinggi, katup tertutup bellow kemurnian ultra tinggi, panel terintegrasi, fitting kemurnian ultra tinggi, dan tabung EP. Tersedia berbagai ukuran, dan kustomisasi dapat dilakukan sesuai dengan persyaratan instalasi khusus di lokasi.
1.Fitting dengan kemurnian sangat tinggi & Sambungan las tumpul
Fitting dengan kemurnian sangat tinggi
Mengadopsi bentuk penyegelan logam ke logam untuk mencapai penyegelan produk yang andal dalam rentang vakum dan tekanan positif. Setelah proses perawatan standar, kekasaran rata-rata pemolesan permukaan sambungan kemurnian ultra tinggi yang bersentuhan dengan media dapat memenuhi 10% μIn (0,25 μm) Ra; Setelah perawatan proses kemurnian ultra tinggi, kekasaran rata-rata permukaan yang dipoles yang bersentuhan dengan media dapat memenuhi 5 μIn (0,13 μm) Ra. Mur sambungan kemurnian ultra tinggi dirancang dengan lubang deteksi kebocoran, yang memudahkan deteksi kebocoran. Ulir mur diberi perlakuan pelapisan perak untuk mengurangi keausan ulir dan mengurangi risiko ulir macet selama pemasangan.
Fitting las tumpul miniatur
Tekanan desain dihitung berdasarkan ASME B31.3 dan ASME B31.1. Strukturnya kompak dan ringkas, dengan dimensi yang presisi. Ujung pengelasan lurus tanpa gerigi, dan ketebalan dinding seragam. Hal ini dapat mencapai kompatibilitas tinggi dengan pipa EP dan meningkatkan stabilitas pengelasan. Kekasaran permukaan bagian dalam sambungan dapat mencapai 5 μIn (0,13 μm) Ra, kekasaran permukaan rata-rata setelah perlakuan proses standar adalah 10 μIn (0,25 μm) Ra. Sambungan yang diberi perlakuan dan pembersihan khusus cocok untuk sistem kemurnian ultra tinggi, proses fotovoltaik, dll., dengan berbagai ukuran yang dapat dipilih.
2.Katup tertutup bellow dengan kemurnian sangat tinggi
Seri BS1
Tekanan kerja dapat mencapai 1000 psig (68,9 bar) dan ketahanan suhu maksimum adalah 482 ℃ (900 ℉). Kami dapat menyediakan baja tahan karat 316L, 316L VAR, dan berbagai material paduan. Desain sambungan batang katup dapat memastikan pergerakan batang katup yang andal. Desain kepala katup yang tidak berputar mengurangi keausan di area dudukan katup, dan pipa bergelombang yang dibentuk dengan presisi memberikan kinerja penyegelan dan masa pakai yang andal. Langkah pipa bergelombang dikontrol secara ketat, secara efektif meningkatkan keamanan dan masa pakai pipa bergelombang.
Seri BS3
Tekanan kerja dapat mencapai 500 psig (34,4 bar) dan ketahanan suhu maksimum adalah 93 ℃ (200 ℉). Material baja tahan karat 316L dan 316L VAR, kepala katup PCTFE standar kompatibel dengan sebagian besar media, dan kepala katup PI (polimida) dapat disediakan. Desain tutup katup sambungan yang aman dan andal, pipa bergelombang yang dibentuk dengan presisi memberikan kinerja penyegelan dan masa pakai yang andal, membuat penyegelan katup pipa bergelombang aman dan andal. Batang katup penggerak yang dirancang khusus halus.
Seri BBS1
Tekanan kerja dapat mencapai 375 psig (25,8 bar) dan ketahanan suhu maksimum adalah 82 ℃ (180 ℉). Material baja tahan karat 316L dengan desain aliran tinggi. Desain sambungan batang katup memastikan pergerakan batang katup yang andal, dan desain kepala katup yang tidak berputar mengurangi keausan di area dudukan katup. Desain badan katup berbentuk Y memastikan bahwa saluran masuk dan keluar katup terletak pada sumbu yang sama, memberikan laju aliran tinggi dan mengurangi hambatan aliran. Perlakuan pemolesan elektrokimia pada permukaan bagian dalam, bersih dan halus. Menampilkan laju aliran tinggi, kinerja penyegelan tinggi, dan keamanan tinggi, ini adalah pilihan terbaik untuk sistem distribusi gas proses kemurnian tinggi, sistem pemurnian, sistem filtrasi, dan sistem distribusi bahan kimia kemurnian tinggi.
3、 Katup pengurang tekanan dengan kemurnian sangat tinggi
Seri PPR1
Ini adalah perangkat pengatur tekanan, terutama digunakan untuk mengontrol tekanan hulu dan hilir sistem, menyesuaikan secara otomatis secara online, dan memantau nilai tekanan sistem umpan balik secara real-time. Tekanan masuk maksimum produk dapat mencapai 3500psig (241bar), dan kisaran tekanan keluar dipilih sesuai dengan situasi kerja aktual. Berbagai material penyegel dudukan katup dipilih, yang dapat digunakan dalam gas korosif dan situasi gas khusus, cocok untuk berbagai kondisi dan lingkungan kerja. Permukaan bagian dalam produk dipoles secara elektrokimia hingga 10 inci (0,25 μm) Ra, diafragma dan badan katup disegel sepenuhnya dengan logam dengan keandalan tinggi.
4.Katup diafragma dengan kemurnian sangat tinggi
Seri DV5
Tersedia pilihan tipe ganda tekanan tinggi (3045psig/210bar) dan tekanan rendah (250psig/17.2bar). Material bodi katup 316L VAR dan 316L VIM-VAR tersedia, dengan berbagai pilihan untuk pengoperasian manual dan pneumatik. Desain dudukan katup PCTFE yang tertutup sepenuhnya menggunakan material diafragma Elgiloy untuk meningkatkan kekuatan dan ketahanan korosi, dengan masa pakai yang lama dan pemolesan elektrokimia permukaan internal hingga 5uin (0,13 μm) Ra, tingkat kebocoran deteksi helium kurang dari 1 × 10⁻⁶.-9std cm3/s
5.Tabung EP
Tabung EP
Permukaan bagian dalam dipoles secara elektrokimia dengan kekasaran 10 μ In (0,25 μ m) Ra, sedangkan permukaan bagian luar telah melalui proses pemolesan mekanis, pencucian asam, dan proses lainnya, sehingga menghasilkan kondisi keseluruhan yang cerah. Faktor keamanan 4 kali lipat untuk memastikan penggunaan yang aman dan andal.
Aplikasi-aplikasi di atas adalah aplikasi yang paling banyak diminati di industri semikonduktor. Hikelok selalu mengikuti tren perkembangan industri semikonduktor dan memanfaatkan pengalaman aplikasi produknya yang kaya untuk menghadirkan produk-produk berkinerja tinggi dan berkualitas tinggi ke industri ini! Untuk detail pemesanan lebih lanjut, silakan lihat panduan pemilihan di situs web resmi Hikelok. Jika Anda memiliki pertanyaan tentang pemilihan produk, silakan hubungi staf penjualan profesional Hikelok yang beroperasi 24 jam sehari.
Untuk detail pemesanan lebih lanjut, silakan lihat pilihan yang tersedia.katalogpadaSitus web resmi HikelokJika Anda memiliki pertanyaan terkait pemilihan produk, silakan hubungi staf penjualan profesional online Hikelok yang beroperasi 24 jam.
Introduction: In recent years, with the rapid rise of new energy vehicles and artificial intelligence, the demand for semiconductors has continued to grow. The rapid development of intelligent technology has accelerated the transition of semiconductor size from microelectronic level to atomic level. Third generation semiconductors usher in a new era of high-quality development! At the same time, the manufacturing process is also more complex. What products from Hikelok can help with semiconductor development? Let's learn more together!
Emerging technologies such as artificial intelligence and big data are key driving forces for development, leading to the need to package greater performance into smaller chips. This means that the manufacturing process will become more complex, requiring faster response capabilities and higher component reliability to ensure high-precision chemical transportation will become a top priority.
Due to the precision and complexity of semiconductor chip manufacturing, whether it is valves for precise gas control or pipeline connectors for carrying electronic gases, they should comply with relevant ASTM and SEMI industry standards and possess the following characteristics:
1. Stainless steel raw materials must be refined using ultra-high purity VAR or VIM-VAR to ensure the requirement of ultra-high purity from the source;
2. The inner surface in contact with the medium needs to undergo processes such as electrochemical polishing and passivation to achieve ultra cleanliness while improving the corrosion resistance of the product;
3. Stainless steel and plastic products must meet relevant ASTM and SEMI industry standards such as internal humidity analysis control, total organic carbon (TOC) analysis control, and ion pollution composition control.
Hikelok's ultra-high purity series products meet the requirements of the semiconductor industry for fluid components and comply with ASTM and SEMI industry standards, including raw material selection, high standard processing technology, and assembly testing in a 100 level dust-free workshop. The product types include ultra-high purity pressure reducing valves, ultra-high purity diaphragm valves, ultra-high purity bellows sealed valves, integrated panels, ultra-high purity fittings, and EP tubing. Multiple size types are available, and customization can be made according to on-site proprietary installation requirements.
1、 Ultra high purity fittings & Butt welded fittings
Ultra high purity fittings
Adopting a metal to metal sealing form to achieve reliable sealing of products within the vacuum and positive pressure range. After the standard treatment process, the average roughness of the surface polishing of the ultra-high purity joint in contact with the medium can meet 10% μ In. (0.25 μ m) Ra; After ultra-high purity process treatment, the average roughness of the surface polished in contact with the medium can meet 5 μ In. (0.13 μ m) Ra. The ultra-high purity joint nut is designed with a leak detection hole, which facilitates leak detection. The nut threads are treated with silver plating process to reduce thread wear and reduce the risk of thread engagement during installation.
Miniature butt welded Fittings
The design pressure is calculated based on ASME B31.3 and ASME B31.1. The structure is compact and compact, with precise dimensions. The welding end is straight without burrs, and the wall thickness is uniform. It can achieve high compatibility with EP pipes and improve welding stability. The roughness of the inner surface of the joint can reach 5 μ In. (0.13 μ m) Ra, the average surface roughness after standard process treatment is 10 μ In. (0.25 μ m) Ra. Specially treated and cleaned joints are suitable for ultra-high purity systems, photovoltaic processes, etc., with a variety of size types to choose from.
2、 Ultra-high purity bellows sealed valves
BS1 series
The working pressure can reach 1000 psig (68.9 bar) and the maximum temperature resistance is 482 ℃ (900 ℉). We can provide 316L, 316L VAR stainless steel and various alloy materials. The valve stem connection design can ensure reliable movement of the valve stem. The non rotating valve head design reduces wear in the valve seat area, and the precision formed corrugated pipe provides reliable sealing performance and service life. The stroke of the corrugated pipe is strictly controlled, effectively improving the safety and service life of the corrugated pipe.
BS3 series
The working pressure can reach 500 psig (34.4 bar) and the maximum temperature resistance is 93 ℃ (200 ℉). 316L and 316L VAR stainless steel materials, default PCTFE valve heads are compatible with most media, and PI (polyimide) valve heads can be provided. The safe and reliable joint valve cap design, precision formed corrugated pipe provides reliable sealing performance and service life, making the sealing of the corrugated pipe valve safe and reliable. The specially designed drive valve stem is smooth.
BBS1 series
The working pressure can reach 375 psig (25.8 bar) and the maximum temperature resistance is 82 ℃ (180 ℉). 316L stainless steel material with high flow design. The valve stem connection design ensures reliable movement of the valve stem, and the non rotating valve head design reduces wear in the valve seat area. The Y-shaped valve body design ensures that the inlet and outlet of the valve are located on the same axis, providing high flow rate and reducing flow resistance. Electrochemical polishing treatment on the inner surface, clean and smooth. Featuring high flow rate, high sealing performance, and high safety, it is the best choice for high-purity process gas distribution systems, purification systems, filtration systems, and high-purity chemical distribution systems.
3 、 Ultra-high purity pressure reducing valves
PPR1 series
This is a pressure regulating device, mainly used to control the pressure of upstream and downstream and the system, automatically adjust online, and monitor the feedback system pressure value in real time. The maximum import pressure of the product can reach 3500psig (241bar), and the outlet pressure range is selected according to the actual labor situation. Multiple valve seat sealing materials are selected, which can be used in corrosive gases and special gas situations, suitable for various working conditions and environments. The internal surface of the product is electrochemically polished to 10 inches (0.25) μ m) Ra, the diaphragm and valve body are fully metal sealed with high reliability.
4、 Ultra-high purity diaphragm valves
DV5 series
High pressure (3045psig/210bar) and low pressure (250psig/17.2bar) dual types are available for selection. 316L VAR and 316L VIM-VAR valve body materials are available, with multiple options for manual and pneumatic operation. The fully enclosed PCTFE valve seat design uses Elgiloy diaphragm material to improve strength and corrosion resistance, with a long service life and an internal surface electrochemical polishing of up to 5uin (0.13) μ m) Ra, the helium detection leakage rate is less than 1 × 10 -9 std cm 3 /s
5、 EP tubing
EP tubing
Internal surface electrochemical polishing with a roughness of 10 μ In. (0.25 μ m) Ra, the outer surface has undergone mechanical polishing, acid washing and other processes, presenting a bright overall state. 4 times the safety factor to ensure safe and reliable use.
The above are the preferred applications in the semiconductor industry. Hikelok keeps up with the development trend of the semiconductor industry and utilizes its rich product application experience to bring more high-performance and high-quality products to the industry! For more ordering details, please refer to the Hikelok official website selection manual. If you have any selection questions, please contact Hikelok's 24-hour online professional sales personnel.
For more ordering details, please refer to the selection catalogs on Hikelok's official website. If you have any selection questions, please contact Hikelok's 24-hour online professional sales personnel.